欧时电子半导体生产设备上用到很多的称重传感器及压力传感器,这些年,与国内不少的半导体设备厂家进行合作过,具体哪些设备用到什么传感器,分别阐述以下:5 Z0 b6 E! w# t. q* T3 g
: \: |5 }5 D) M9 g( f% B" k 1、在半导体露光装置上的使用:" D. K; Z4 x3 Z; G% Y. ~
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该设备上通常是用压力传感器,对性能要求很高欧时中国,长期稳定性要好,精度要高,主要是通常监测气压,连接晶圆浮起进行振动对策,此时的气压用精密压力传感器控制,且产生的废气液体的管理也是由称重传感器来计量。 % t( U r9 a, c( e2 b r# T" {. h- @5 c 选配的气压传感器,采用扩散硅敏感元件,进口材料。$ ^9 b5 n1 J/ K" y