超高功率组件晶体硅太阳能电池的制造工艺流程

　　超高功率组件晶体硅太阳能电池的制造工艺流程
　　晶体硅太阳能电池的制造工艺流程说明如下：
　　（1）切片：采用多线切割，将硅棒切割成正方形的硅片。
　　（2）清洗：用常规的硅片清洗方法清洗，然后用酸（或堿）溶液将硅片表面切割损伤层除去30——50um。
* S  B% U0 _* i　　（3）制备绒面：用堿溶液对硅片进行各向异性腐蚀在硅片表面制备绒面。
　　（4）磷扩散：采用涂布源（或液态源，或固态氮化磷片状源）进行扩散，制成PN＋结，结深一般为0.3——0.5um。
　　（5）周边刻蚀：扩散时在硅片周边表面形成的扩散层，会使电池上下电极短路，用掩蔽湿法腐蚀或等离子干法腐蚀去除周边扩散层。
8 P( h3 g5 G2 H4 I　　（6）去除背面PN＋结。常用湿法腐蚀或磨片法除去背面PN＋结。
7 ^5 Q: ]7 C# `) Z0 J( b　　（7）制作上下电极：用真空蒸镀、化学镀镍或铝浆印刷烧结等工艺。先制作下电极，然后制作上电极。铝浆印刷是大量采用的工艺方法。
　　（8）制作减反射膜：为了减少入反射损失，要在硅片表面上复盖一层减反射膜。制作减反射膜的材料有MgF2 ，SiO2 ，Al2O3 ，SiO ，Si3N4 ，TiO2 ，Ta2O5等。工艺方法可用真空镀膜法、离子镀膜法，溅射法、印刷法、PECVD法或喷涂法等。
　　（9）烧结：将电池芯片烧结于镍或铜的底板上。
　　（10）测试分档：按规定参数规范，测试分类。
　　由此可见，太阳能电池芯片的制造采用的工艺方法与半导体器件基本相同，生产的工艺设备也基本相同，但工艺加工精度远低于积体电路芯片的制造要求，这为太阳能电池的规模生产提供了有利条件。

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